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什么磨邊輪胎體粉耐磨性好

發(fā)布時間:2018-10-08 10:51:22

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  深反應離子刻蝕(DRIE)可以對單晶金剛石進行精密加工,制造出獨立的微機械元件。由于其高硬度和剛度以及低機械摩擦,金剛石是納米和微米級元件*具吸引力的材料。然而,由于現(xiàn)有技術的限制(包括淺蝕刻深度和粗糙表面),金剛石的反應離子蝕刻技術一直有一定難度。日前,由瑞士洛桑理工學院的Niels Quack研究組開發(fā)出了一種深反應離子蝕刻的工藝,該工藝采用三層Al/SiO2硬掩模,可實現(xiàn)>30μm/ h的蝕刻速率和*的特征尺寸控制。他們做出的單晶金剛石手表組件厚度為150微米,表面粗糙度在200納米以下。這種新方法為大批量精密制造金剛石部件打下了基礎。

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  鄭州大學物理工程學院單崇新教授組建了以研究金剛石半導體性能為主要研究方向的課題組,對金剛石材料和器件展開了系統(tǒng)研究,并在大尺寸、高質(zhì)量單晶金剛石制備及其日盲紫外探測器件制備方面取得一定進展,近期,單崇新教授團隊受邀為Advanced Optical Materials雜志撰寫相關綜述:“Optoelectronic Diamond: Growth, Properties, and Photodetection Applications”,該文章詳細介紹了近年來人們在金剛石大尺寸單晶制備、金剛石基光電探測器件制備及其應用領域取得的研究進展。

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